測量平直度最直接和最基本的方法是采用一把具有一定精度的直尺。在許多應用領(lǐng)域中，采用直尺對測試表面進行測量，或采用三層防震墊鐵厚薄規(guī)或光隙法測量間隙是可以被接受的。在沒有較新測量設(shè)備的情況下，有時候可以利用一把精密直尺，通過光隙法來測量研磨表面。通過一個良好的光源進行觀察，一般能夠很容易地看到低于 0.0001in的光隙。當光隙達到70~50μin時，光線開始變成紅色。當光隙達到30μin時，光線變成藍色。光線的變色效應是由于光線的衍射造成的。這種方法對測試這些微小距離是非常有效的，但也存在著一些問題，其中包括環(huán)境問題和操作人員變更等問題。有一種更好的測量方法可以獲得較好的測量結(jié)果，這就是使用電子高度測量儀或成形系統(tǒng)。這兩種測量儀器本身都具有較高的測量精度。因此，這種方法不是采用直尺與零件進行對比測量，而是通過量規(guī)，將搖擺儀零件與一個內(nèi)部的基準表面進行對比。高度測量儀和成形機械的基本測量功能和測量方法是相同的。
　　為了平行平尺能夠與旋轉(zhuǎn)或直線運動中的零件緊密配合，工業(yè)界對許多零件提出了一些功能性的要求。當設(shè)計工程師將這些要求融入到零件之中時，他們會對零件的平直度、圓度，甚至圓柱度都設(shè)置了必要的公差尺寸，而圓柱度則體現(xiàn)了平直度和圓度兩者的綜合性能。
　　當設(shè)計工程師將平直度作為主要因素來考慮時，一般通過兩條相距一定距離的平行直線，將公差范圍限制在測量平面之中。通常，平直度是通過整個表面的公差區(qū)域來確定的，例如將“平直度公差確定在0.001in（1in=25.4mm）的范圍之內(nèi)。” 大部分測量方法都是建立在直線或平面基礎(chǔ)之上。測量平直度時，情況也完全相同。但在測量平直度時，一般不需要任何數(shù)據(jù)，它是相對于零件自身的外形進行測量的。不過需要某些東西作為基準線進行比較。其所需的基準直線非常簡單，可以是一把直尺，也可以是一臺作為測量和較準用的高度測量儀或成形機械。
　　上述這兩種測量方法都采用一個內(nèi)部測量基準和一個隨著測量表面運動的傳感測量頭，并通過傳感器對測量表面與基準表面的變化進行比較。兩者之間的偏差就是測量的結(jié)果或是被測表面的平直度。知道這個偏差值以后，就可以應用公差范圍以及根據(jù)所要求的公差尺寸，確定零件的表面測量結(jié)果。如同其他的測量系統(tǒng)一樣，其所使用的測量儀器必須符合零件的要求。有些高度測量儀的精度為0.0002in，而其他一些測量儀，包括某些成形系統(tǒng)，它們的測量精度可以達到 0.00001in。其傳感測量頭可以是結(jié)構(gòu)比較簡單的數(shù)字指示器，也可以是比較精密的數(shù)字編碼器探頭。